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MEMS-Sensorentwurf unter Berücksichtigung von parasitären RC-Effekten

Datum
23.10.2015
Zeit
14:00 - 15:00
Sprecher
Herr Axel Hald
Zugehörigkeit
Robert Bosch GmbH Reutlingen
Serie
TUD Feinwerktechnik und Elektronik-Design Kolloquium
Sprache
de
Hauptthema
Elektro- u. Informationstechnik
Andere Themen
Elektro- u. Informationstechnik
Host
Prof. Dr.-Ing. habil. Jens Lienig, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design
Beschreibung
Bei der Entwicklung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) liegt der Schwerpunkt in der Auslegung der mechanischen Domäne. Diese ist durch Modelle und Simulationen sehr gut in den Entwurfsfluss eingebunden. Im Vergleich zu integrierten Schaltkreisen ist die Erfassung der parasitären RC-Effekte bei MEMS nur im Ansatz durch eigene Werkzeuge abgedeckt.
In diesem Vortrag werden Methoden zur automatisierten Analyse der parasitären RC-Effekte bei MEMS-Inertialsensoren vorgestellt, um sie für eine Optimierung des MEMS-Sensorentwurfs unter Berücksichtigung der parasitären RC-Effekte zu nutzen.
Links

Letztmalig verändert: 23.10.2015, 10:01:29

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Veranstaltungsort

TUD Barkhausen-Bau (Barkhausen-Bau, Zi.: II/26, Helmholtzstraße 18)Helmholtzstraße1801087Dresden
Homepage
https://navigator.tu-dresden.de/etplan/bar/00

Veranstalter

TUD Elektro- u. InformationstechnikGeorg-Schumann-Str.1101187Dresden
Telefon
+49 351 463-34025
Fax
+49 351 463-37039
E-Mail
TUD Elektro- u. Informationstechnik
Homepage
http://www.et.tu-dresden.de/etit/
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